ESDP干式螺杆真空泵

　吸入效率(提升15%)。　排气效率改善(2级可(kě)变，连续可(kě)变频率)。

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ESDP干式螺杆真空泵

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优点特征

　　吸入效率(提升15%)。

　　排气效率改善(2级可(kě)变，连续可(kě)变频率)。

　　极限压力：1*10-2Torr(托)。

　　排气温度降低50%。

　　電(diàn)力消耗减少30%。

　　不使用(yòng)油和水，不会造成油和水的污染。

　　低功耗、低噪音、低振动，动平衡好，没有(yǒu)惯性力，可(kě)高速运行。

　　设计结构简单，易保养，维修费用(yòng)低，没有(yǒu)易损件，寿命長(cháng)。

　　适用(yòng)范围广，具有(yǒu)高真空性能(néng)。

　　使用(yòng)寿命長(cháng)，气體(tǐ)接触部位都具有(yǒu)聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层。

　　不采用(yòng)机械密封，密封部件无污染，不会因污染而频繁发生故障。

　　前后采用(yòng)稀有(yǒu)润滑方式，提高轴承耐用(yòng)性。

标准配件

　　基座和防护罩

　　排气消声器及进气分(fēn)离器

　　吸气口

　　止回阀

　　真空计

可(kě)选配件

　　吸滤器

　　排气冷凝器

　　吸入式气液分(fēn)离器

　　流量开关及温度开关

ESDP干式螺杆泵的应用(yòng)范围

　　ESDP系列在半导體(tǐ)合成及液晶生产上的应用(yòng)，主要有(yǒu)半导體(tǐ)等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕電(diàn)浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流為(wèi)0，以保护工件免受污染。

　　在石油化工中，主要是抽取可(kě)凝性气體(tǐ)，或有(yǒu)毒气體(tǐ)，或腐蚀性气體(tǐ)，或含有(yǒu)微尘的气體(tǐ)。

　　制药行业，用(yòng)于药物(wù)的真空干燥，药物(wù)中间體(tǐ)回收，回收气體(tǐ)消毒剂，為(wèi)人造器官提供清洁无菌条件等。

　　化工中用(yòng)于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多(duō)元醇等工艺

　　工业排气;集中式真空处理(lǐ)系统

　　挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

　　混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用(yòng)于消除水污染，及喷射器中的阻塞物(wù)

　　食品行业用(yòng)于香料、香精浓缩，食品包装等。