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罗茨真空泵是在0.1-1000Pa真空范围具有(yǒu)较大抽速且成本较低的设备,他(tā)可(kě)以与多(duō)种真空泵组合组成真空机组,在较低压力时有(yǒu)效的提高抽速,扩大前级泵抽速范围。组合干式螺杆真空泵使用(yòng)可(kě)确保被抽容器更加洁净,系统更可(kě)靠。所有(yǒu)产品在出厂前都做动平衡和泄露测试。
气體(tǐ)通过进气管路吸入泵腔内,由主真空泵排放至前级泵吸入口。由于转子旋转时,转子和机器外壳间隙较小(xiǎo)(0.2~0.6mm),所以本产品可(kě)以实现洁净真空排放,即机器外壳和转子无需使用(yòng)润滑油。同时,因為(wèi)转子和机器外壳无接触,即转子在高速旋转时(最高3600rpm),也可(kě)以实现转子的半永久式使用(yòng)。本产品不采用(yòng)机械密封,長(cháng)期化學(xué)作用(yòng)不会导致轴承污染。
罗茨螺杆真空泵机组典型应用(yòng)
化工和医药、半导體(tǐ)、溶剂回收、成型、结晶、干刻、溅镀、蒸汽回收、高空模拟。
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