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2021-01-18

真空泵的选择

  选用(yòng)真空泵时,需要注意下列事项:   1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的*限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用(yòng)的真空泵的真空度*少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。   2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有(yǒu)一定的工作压强范围,如:扩散泵為(wèi)10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围為(wèi)5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能(néng)让它在10-8mmHg下長(cháng)期工作。又(yòu)如钛升华泵可(kě)以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小(xiǎo)于1×10-5mmHg為(wèi)好。   3、真空泵在其工作压强下,应能(néng)排走真空设备工艺过程中产生的全部气體(tǐ)量。   4、正确地组合真空泵。由于真空泵有(yǒu)选择性抽气,因而,有(yǒu)时选用(yòng)一种泵不能(néng)满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能(néng)满足抽气要求。如钛升华泵对氢有(yǒu)很(hěn)高的抽速,但不能(néng)抽氦,而三*型溅射离子泵,(或二*型非对称阴*溅射离子泵)对氩有(yǒu)一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有(yǒu)的真空泵不能(néng)在大气压下工作,需要预真空;有(yǒu)的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用(yòng)。   5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分(fēn)子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可(kě)以选择有(yǒu)油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能(néng)达到清洁真空要求。   6、了解被抽气體(tǐ)成分(fēn),气體(tǐ)中含不含可(kě)凝蒸气,有(yǒu)无颗粒灰尘,有(yǒu)无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气體(tǐ)成分(fēn),针对被抽气體(tǐ)选择相应的泵。如果气體(tǐ)中含有(yǒu)蒸气、颗粒、及腐蚀性气體(tǐ),应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。   7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有(yǒu)污染,可(kě)以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。   8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有(yǒu)无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。   9、真空泵的价格、运转及维修费用(yòng)。

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