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2021-01-18

真空泵的选择

　　选用(yòng)真空泵时，需要注意下列事项： 　　1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的*限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用(yòng)的真空泵的真空度*少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 　　2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有(yǒu)一定的工作压强范围，如：扩散泵為(wèi)10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围為(wèi)5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能(néng)让它在10-8mmHg下長(cháng)期工作。又(yòu)如钛升华泵可(kě)以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小(xiǎo)于1×10-5mmHg為(wèi)好。 　　3、真空泵在其工作压强下，应能(néng)排走真空设备工艺过程中产生的全部气體(tǐ)量。 　　4、正确地组合真空泵。由于真空泵有(yǒu)选择性抽气，因而，有(yǒu)时选用(yòng)一种泵不能(néng)满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能(néng)满足抽气要求。如钛升华泵对氢有(yǒu)很(hěn)高的抽速，但不能(néng)抽氦，而三*型溅射离子泵，(或二*型非对称阴*溅射离子泵)对氩有(yǒu)一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有(yǒu)的真空泵不能(néng)在大气压下工作，需要预真空;有(yǒu)的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用(yòng)。 　　5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分(fēn)子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可(kě)以选择有(yǒu)油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能(néng)达到清洁真空要求。 　　6、了解被抽气體(tǐ)成分(fēn)，气體(tǐ)中含不含可(kě)凝蒸气，有(yǒu)无颗粒灰尘，有(yǒu)无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气體(tǐ)成分(fēn)，针对被抽气體(tǐ)选择相应的泵。如果气體(tǐ)中含有(yǒu)蒸气、颗粒、及腐蚀性气體(tǐ)，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 　　7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有(yǒu)污染，可(kě)以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 　　8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有(yǒu)无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 　　9、真空泵的价格、运转及维修费用(yòng)。

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